陶瓷厚膜壓力傳感器是繼擴散硅壓力傳感器之后壓力傳感器的又一次重大的技術創新,而力敏Z-元件是目前國內外唯一具有數字信號輸出的敏感元件,因此陶瓷厚膜工藝與力敏Z-元件的最簡單電路的巧妙結合,可以出現一種性能優異、成本低廉的新型壓力傳感器。具體來說,陶瓷厚膜工藝有下述優點:
1、厚膜電阻(包括高溫導線)能與陶瓷彈性膜片牢固地燒結在一起,不需用膠進行粘貼。這種剛性結構蠕變小,漂移小,靜態性能穩定,動態性能好。2、 陶瓷彈性體性能優良,平整、均勻、質密的材料在程度范圍內都嚴格遵循虎克定律,無塑性變形。
3、厚膜彈性體結構簡單,易于制備。它與擴散硅壓力傳感器相比,不需半導體平面工藝來形成擴散電阻彈性膜片,大幅度減小了生產線的前期投入和工藝加工成本。
4、陶瓷厚膜結構耐液體或氣體介質的腐蝕,不需通過不銹鋼膜片和硅油的轉換與隔離,封裝結構簡化,進一步降低成本。
5、工作溫度范圍寬, 可達-40℃~120℃。
6、工作量程寬。量程決定于膜片的有效半徑與厚度之比,只要微壓力不小于1Kpa,原則上較高的量程也易于實現。更多壓力傳感器相關技術文章請訪問:http://www.neohoutdoors.com