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壓力傳感器的過載保護

發(fā)布時間:2020-07-21 08:47人氣:

壓力傳感器有兩項參數(shù):安全過載和極限過載,過載是指施加在壓力傳感器上的力超過壓力傳感器的量程。一般來說,壓力傳感器安全過載范圍為150%FS,極限過載范圍為200%FS。過載現(xiàn)象是電流過大,電氣設(shè)備被加熱,線路的長期過載會降低線路的絕緣水平。甚至燒毀傳感器設(shè)備或布線;嚴重過載情況下甚至?xí)?dǎo)致壓力傳感器彈性體變形而無法恢復(fù)導(dǎo)致傳感器報廢。過載保護是指即使負載超過額定負載,也不會有線路燒壞,但也有一定程度,一般為150%FS,并且不能繼續(xù)過載工作。

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壓力傳感器有多種形式,每種結(jié)構(gòu)的過載保護設(shè)計方法也不同。許多方法各有優(yōu)缺點。使用MEMS技術(shù)的小范圍,高靈敏度壓力傳感器通常具有平膜,島膜,梁膜和其他結(jié)構(gòu)通常在設(shè)計過載保護時通過凸起和其他方法實現(xiàn)。形成方法包括背蝕刻技術(shù),硅直接鍵合技術(shù)和玻璃蝕刻技術(shù)。然而,這些結(jié)構(gòu)通常具有很大的局限性,因為腔尺寸大,靈敏度進一步受限,并且硅晶片的利用率降低,制造工藝的復(fù)雜性增加,并且生產(chǎn)成本增加。
目前,小范圍和高靈敏度壓力傳感器的研究重點集中在犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器上。這主要是因為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器彈性膜片非常薄,厚度可以是2μm甚至更薄。在如此薄的結(jié)構(gòu)中,如果使用擴散硅或多晶硅膜作為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的應(yīng)變電阻,則其厚度相對較大,這對彈性膜片的應(yīng)力分布有很大影響,這是不利于犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的性能優(yōu)化。因此,使用多晶硅納米薄膜來制造應(yīng)變電阻器可以進一步利用犧牲層技術(shù)的優(yōu)點。
過載保護是每種傳感器的考慮因素,因為測量值可能大于使用期間的范圍。只有設(shè)計有過載保護的傳感器才能更好地使用,并且可以使用更長時間。如何設(shè)計每個傳感器的過載保護,過載范圍不同,所以無論您購買哪種傳感器,都必須知道它有多少過載保護,以便將來使用更方便。由于過載,也沒有燒毀電路的情況。
盡管傳感器有一定的過載保護功能,仍請不要讓傳感器過載使用。作為廠家,我們建議選取壓力傳感器的時候,應(yīng)先考慮傳感器的量程,計算出設(shè)備最大的推力或者拉力(包括可能產(chǎn)生的沖擊力),在精度允許范圍內(nèi)盡量選大傳感器量程,以避免傳感器過載使用!更多壓力傳感器相關(guān)文章請見滄正傳感官網(wǎng)http://www.neohoutdoors.com

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