91精品国产综合久久久久久_精品久久久久久久久久久久久久久_国产一区二区精品在线_国产不卡免费视频_亚洲国产一区二区在线_视频一二区_一级片免费视频

您好，歡迎訪問滄正傳感官網！
0755-23406601
13425152026
深圳滄正傳感儀器有限公司
您的位置：主頁 > 新聞動態 > 傳感技術 >
聯系我們

深圳滄正傳感儀器有限公司

地址：深圳市光明區塘尾寶塘工業區F2棟4樓
手機：13425152026

咨詢熱線0755-23406601

微壓壓力傳感器靈敏度和非線性問題

發布時間：2019-12-14 09:35人氣：

傳感器的靈敏度和線性度是傳感器最重要的性能特征，特別是對于微壓壓力傳感器而言，小量程的微壓壓力傳感器的靈敏度和線性度一直是阻礙微壓壓力傳感器發展的一大因素。

微壓壓力傳感器
　  為了解決微壓壓力傳感器靈敏度和非線性的矛盾，在結構上，綜合梁膜結構與平膜雙島結構的優點，采用雙島-梁結構。島區的面積不是按比例放大或縮小。首先，為了增加靈敏度，應盡可能減小窄梁區的長度和寬度。因為從對梁-膜-島結構的有限元分析和近似解析分析中發現，減小窄梁區的長度和寬度可以明顯地使梁上的應力增大。并且當中間窄梁的長度約為兩邊窄梁長度的2倍時，器件的線性度最好。雖然有雙島限位結構，但在高過載情況下，硅膜將首先從島的邊區和角區破裂。這是因為傳統的島膜結構都是采用常規的有掩模的各向異性濕法腐蝕，從硅片背面形成硅膜和背島。硅膜是晶面，邊框和背大島側面都是晶面，夾角為54.74°的銳角。根據力學原理，在角區存在應力集中效應，使硅膜在正面或背面受壓以后，角區會具有應力的極值，因此破裂首先從該處發生。引入應力勻散結構以后，使角區變成具有一定曲率的圓角區，使該區的應力極值下降。在硅膜與邊框或背島的交界處要形成有一定曲率半經的緩變結構，采用一般的常規各向異性濕法腐蝕是無法實現的。為此，采用了掩模-無掩模各向異性濕法腐蝕技術。
　  微壓壓力傳感器具有廣泛的用途，目前微壓力傳感器的量程還不夠小，靈敏度和線性度也不是很好，所以微壓壓力傳感器還不能得到很好的應用，隨著科技的發展，微壓力傳感器的應用前景將會進一步拓展。更多壓力傳感器相關技術文章請訪問：http://www.neohoutdoors.com

推薦資訊

0755-23406601
主站蜘蛛池模板： 国产在线98福利播放视频免费 | 色综合天天综合网国产人 | 久久青草免费97线频观 | 青娱乐在线播放 | 欧美成人精品在线 | 亚洲欧洲日产国码一级毛片 | 717秋霞三级good在线观看 | 亚洲妇人成熟性成熟网站 | 日本不卡视频免费的 | 欧美日韩在线看 | 亚洲国产精品二区久久 | 黄视频网站入口 | 秋霞在线欧美成人影院 | 精品视频香蕉尹人在线 | 色97偷自拍亚洲综合图片 | 欧美伦理一区二区三区 | 国产精品爱啪在线线免费观看 | 欧美xxxx做受欧美69 | 91九色网址 | 国产成人99久久亚洲综合精品 | 在线看片日韩 | 国产精品成 | 漂亮的保姆高清在线观看韩国 | 久久99精品久久久久久欧洲站 | 久久久黄色 | 免费看欧美成人性色生活片 | 欧美高清色视频在线播放 | 国内精品久久久久久久久 | 免费a视频 | 久久精品人人做人人看最新章 | 久久这里只精品国产99热8 | 97精品国产91久久久久久久 | 欧美片网站免费 | 日韩视频在线一区 | 国产中文字幕在线播放 | 伊人网视频 | 免费黄毛片 | 国产麻豆剧果冻传媒观看免费视频 | 黄毛片视频 | 狠狠五月深爱婷婷网免费 | 日本伦理黄色大片在线观看网站 |