壓力傳感器的誤差主要由偏移量誤差、靈敏度誤差、線性誤差和滯后誤差構成:
1、靈敏度誤差,產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。 。
2、偏移量誤差。由于在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。
3、滯后誤差:在大多數情形中,滯后誤差完全可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
4、線性誤差。這是一個對初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。
標定可消除或極大地減小這些誤差,而補償技術通常要求確定系統實際傳遞函數的參數,而不是簡單的使用典型值。電位計、可調電阻以及其他硬件均可在補償過程中采用,而軟件則能更靈活地實現這種誤差補償工作。
一點標定法可通過消除傳遞函數零點處的漂移來補償偏移量誤差,這類標定方法稱為自動歸零。
差動傳感器的零壓力標定非常精確,因為標定壓力嚴格為0。另一方面,壓力不為0時的標定精確度取決于壓力傳感器或測量系統的性能。偏移量標定通常在零壓力下進行,特別是在差動傳感器中,因為在標稱條件下差動壓力通常為0。對于純傳感器,偏移量標定則要困難一些,因為它要么需要一個壓力讀取系統,用以測量其在環境大氣壓力條件下的標定壓力值,要么需要獲取期望壓力的。更多壓力傳感器相關技術文章請訪問:http://www.neohoutdoors.com